��̽��ǰ뵼����������ؼ��IJ���֮һ�����й��뵼��������ҵ��չ�ս�����֮�ʣ����ϵĹ������������������ճ̡����Ž����꣬���������Թ�̽������ӡ���̽������ɵ�·��ҵ��ʼԽ��Խ��س����ڹ�����Ұ�����ڡ���Խ��������һ�У����������ڱ���˳��ı����ƻ�΢���Ӳ������޹�˾��ר�ñ����ƻ�΢���Ӳ������޹�˾���³����Ůʿ�����Ĺ�̽�����Ĺ��¡�

�����ƻ�΢���Ӳ������޹�˾��һ������������ҵ��������2004�꣬��һ�Ҳ�Ʒ����KrF(248nm)��I-line��G-line��������׵Ĺ�̽��������Լ���Ӧ��������̣�Ҳ�Ǽ��Ƚ���̽���Ʒ�С�������Ϊһ���ӵ������֪ʶ��Ȩ�ĸ��¼�����ҵ��

�ڲɷù����г���ᵽ“��̽���һ����Ҫ�������IJ�ҵ��Ψ��̤̤ʵʵ�����о�������������й��Ĺ�̽���ҵ�����������ڷ�”��

�ƻ�΢�����з����������ۺ�ӵ�ж�����̽�ר�ң��߱������������з����ֵ�λ�Ĺ�̽�;�ܹ������Ƴ����Ͽͻ�������²�Ʒ;�ƻ�΢�����Գ����������н��˶�����ҡ������м���̽��ص��з�����ҵ����Ŀ����ѧ���������ʵ��ѧ�ƣ���Ҫһ��һ����ӡ�سɾͣ���̽�����һ����Ҫ�������IJ�ҵ����Ҫ���ǿ�ѧ�����߿����׿������İ�װ��̤̤ʵʵ�����о���������������ɵ�·��ҵ����������Ҫ���˾���IJ�ҵ�������󾫡�ʵ�������������ҵ����������̽�֮·��û�о�ţ�ֻ��ǰ����

�������ѽ�����

�������������ѣ���������Ϊ������ת����ҵ������Ѷ���������Ϣ��Ϊ���������ݸ�����Ϣ֮Ŀ�ģ�����������վ�۵㣬������ʵ������������غ�ʵ���κ�Ͷ�ʼ��˾��з��գ����ѹ������Ͷ���������